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    產品名稱:半柜式清洗機

    產品型號:VTC-200-CE

    更新時間:2021-12-07

    產品特點:VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線導軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來回掃動,同時配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉,由七寸全彩觸屏進行操作,全不銹鋼機柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導軌,不銹鋼內腔,設計合理,經久耐用。伺服馬達控制旋轉速度和時間,自動控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復性好。

    品牌其他品牌儀器種類通用型
    價格區間面議產地類別國產
    應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子

    VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線導軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來回掃動,同時配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉,由七寸全彩觸屏進行操作,全不銹鋼機柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導軌,不銹鋼內腔,設計合理,經久耐用。伺服馬達控制旋轉速度和時間,自動控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復性好。1、不銹鋼半柜式設計,觸摸屏操作
    2、透明觀察窗,帶排廢和抽風功能
    3、可移動式直線導軌清洗,行程可定制
    4、最多可配備四路清洗或氮氣吹干系統
    5、可處理最大基片尺寸為8寸晶圓,向下兼容
    6、更大尺寸可定制

    產品名稱      
    VTC-200-CE半柜式清洗機
    產品型號      
    VTC-200-CE
    主要參數      
    1、旋轉速度可調范圍:20-10000rpm
    2、加速度可調范圍:0-50000rpm/s
    3、標配直線導軌行程:100mm;最大移動速度:100mm/s
    4、標配兩路噴液系統,扇形或柱形噴嘴可選
    5、標配10L不銹鋼壓力桶兩只,其它規格可選
    6、清洗液或氮氣加溫系統可選配
    產品規格      

    尺寸:940mm(長)×800mm(寬)×1100mm(高)


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