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    產品名稱:小型-等離子清洗機

    產品型號:PCE-6

    更新時間:2021-12-07

    產品特點:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 &#216;160mm&#215;190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,

    品牌其他品牌儀器種類通用型
    價格區間面議產地類別國產
    應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子

    PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
    2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
    3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。
    4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

    產品名稱      
    PCE-6小型等離子清洗機
    產品型號      
    PCE-6
    主要參數      
    1、電源:AC220V  50/60Hz
    2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
    3、真空泵功率:<500W
    4、總功率:<600W
    5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節
    6、等離子腔體:高純石英腔體?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有?45mm的觀察窗
    7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵
    8、極限真空度:50mtorr

    9、通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定)

    清洗及蝕刻

    產品規格      

    尺寸:400mm×300mm×300mm

    重量:10.2kg

    可選配件      1、2"-6"石英舟(盛放基片)
    2、2-4通道質子或浮子混氣系統


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